El primer sistema comercial de litografía por haz de electrones (EBL) de China, «Xi Zhi», desarrollado por la Universidad de Zhejiang, ha entrado en pruebas de aplicación, cumpliendo con los estándares internacionales de precisión y marcando un avance significativo en la investigación y el desarrollo de chips cuánticos a nivel nacional.

En el instituto Yuhang de innovación cuántica de la universidad, el equipo de investigación está probando rigurosamente esta gran máquina, con forma de gabinete.

«¡No se trata de una máquina común, sino de un ‘nano-cepillo’ capaz de esculpir el mapa de una ciudad entera en un solo cabello!», declaró el líder del equipo. Desarrollado en un importante laboratorio provincial, el sistema «Xi Zhi» de 100 kV ya está disponible comercialmente.

El sistema lleva el nombre de Wang Xizhi, un famoso calígrafo chino. «La diferencia radica en que utiliza un haz de electrones en lugar de un cepillo, esculpe circuitos en chips», explicó un investigador principal. Dirigido a chips cuánticos y semiconductores avanzados, «Xi Zhi» «escribe» directamente circuitos en obleas de silicio con una precisión de 0,6 nanómetros y un ancho de línea de 8 nanómetros. Permite modificaciones flexibles de diseño sin las fotomáscaras tradicionales. «En la fase inicial de investigación y desarrollo, son comunes numerosas iteraciones de diseño que requieren ajustes línea por línea. EBL ofrece alta precisión y facilidad de escritura, lo que aumenta considerablemente la eficiencia en el desarrollo de chips», añadió el investigador.

El desarrollo de «Xi Zhi» rompe una barrera crítica.

Anteriormente, esta tecnología de vanguardia estaba restringida por los controles internacionales de exportación, lo que impedía que instituciones de primer nivel como la Universidad de Ciencia y Tecnología de China y los propios laboratorios de la Universidad de Zhejiang pudieran adquirirla.

«Xi Zhi» se encuentra actualmente en negociaciones de adquisición con entidades como Huawei HiSilicon y varios institutos de investigación, con un precio inferior al promedio internacional.

El éxito de «Xi Zhi» se debe al modelo de «integración dual» propuesto por la provincia de Zhejiang, que fusiona la innovación tecnológica e industrial.

Las pruebas de aplicación de «Xi Zhi» representan un gran avance en la localización de equipos semiconductores de alta gama. Este «sepulcro», controlado independientemente por China, sienta las bases para acelerar el desarrollo de chips nacionales de alta gama.

El distrito de Yuhang, en Hangzhou, prioriza reformas integradas en educación, ciencia y talento, con la IA como motor clave, para construir una zona de demostración de innovación. Los esfuerzos futuros se centrarán en lograr más logros históricos mediante plataformas de alto nivel, talento, empresas, proyectos y financiación tecnológica.